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离子风机的测试方法
发布时间:2019-03-16
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符合性验证程序基于ESD STM3.1

目的

符合性验证程序目的是为了验证离子风机的消散时间和残留电压(离子平衡)在使用者规范的规格范围内;

周期检验程序中的测试步骤通用于下列类别的电离设备;

离子室,层流罩,工作台和自动化设备(台式和悬挂式),喷气(喷枪或喷嘴)。

测试设备

平板静电监测仪。

秒表或其他适宜的计时器通常在便携式测试仪测量消散时间时使用。

测试程序——初始测试设置

测试点应设在离子中和ESDS元器件的位置;

测试时应保留离子风加热器或空气过滤器(如果配备)在正常工作状态。

测试程序——消散时间测试

1. 打开测试设备并按制造商推荐方法使其稳定;

2. 短暂接地分离导电板使其(或验证)归零;

3. 在有离子的环境中断开接地后测试仪不要再归零(或充电);

4. 为导电板分别充电到超过初始测试电压的任意两极电压(如±1200到±1500伏);

5. 确保导电板迎着离子风的气流;

6. 消散时间测量是从导电板电压衰减到初始测试电压(通常为±100伏)时开始,衰减到终止测试电压(通常为±100伏)结束;

7. 重复上面步骤测试相反极性电压;

8. 记录两极电压消散时间的秒数;


测试程序——残留电压测试(平衡)

1. 打开测试设备并按制造商推荐方法使其稳定;

2. 短暂接地分离导电板使其(或验证)归零;

3. 在有离子的环境中断开接地后测试仪不要再归零(或充电);

4. 放置导电板迎着离子风的气流;

5. 等待读数稳定;

6. 记录残留电压(平衡)。

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